[发明专利]一种抑制微波部件微放电效应的微刻蚀工艺方法

摘要

本发明公开了一种抑制微波部件微放电效应的微刻蚀工艺方法，这一方法的核心是在保证微波部件良好导电性的基础上，利用化学方法微刻蚀铝合金镀银表面，使微波部件光滑的镀银表面形成纳米微陷阱结构，从而抑制微波部件表面的二次电子发射，以达到提高微放电阈值，抑制微放电的目的。该方法主要包括以下处理步骤：微波部件经必要清洗后，利用Fe(NO3)3溶液进行刻蚀，在部件镀银表面形成纳米微结构；然后在50％的盐酸中浸泡去除Fe3+。该方法与现有的微波部件处理工艺衔接良好，微波部件表面的二次电子发射系数受到明显抑制，部件的微放电阈值也有显著提高。

主权项

一种抑制微波部件微放电效应的微刻蚀工艺方法，其特征在于步骤如下：(1)对微波部件的表面进行去油和清洗处理；(2)对步骤(1)中预处理过的微波部件利用Fe(NO3)3刻蚀液进行微刻蚀反应，在微波部件表面形成微陷阱结构；(3)清洗该微波部件，去除微波部件表面的反应残留物；(4)去除微波部件表面残留的Fe3+；(5)再次清洗该微波部件；(6)烘干该微波部件并包装保存。