[发明专利]一种抑制微波部件微放电效应的微刻蚀工艺方法

权利要求书

1.一种抑制微波部件微放电效应的微刻蚀工艺方法，其特征在于步骤如下：

(1)对微波部件的表面进行去油和清洗处理；

(2)对步骤(1)中预处理过的微波部件利用Fe(NO₃)₃刻蚀液进行微刻蚀反应，在微波部件表面形成微陷阱结构；

(3)清洗该微波部件，去除微波部件表面的反应残留物；

(4)去除微波部件表面残留的Fe³⁺；

(5)再次清洗该微波部件；

(6)烘干该微波部件并包装保存。

2.根据权利要求1所述的一种抑制微波部件微放电效应的微刻蚀工艺方法，其特征在于：步骤(1)中所述对微波部件的表面进行去油和清洗处理具体为：先分别依次用丙酮、乙醇超声清洗5min去油，再用超纯水超声清洗5min，最后在50℃下烘干。

3.根据权利要求1所述的一种抑制微波部件微放电效应的微刻蚀工艺方法，其特征在于：Fe(NO₃)₃刻蚀液采用Fe(NO₃)₃·9H₂O配制，其质量比为Fe(NO₃)₃·9H₂O∶超纯水H₂O＝1∶2。

4.根据权利要求1或3所述的一种抑制微波部件微放电效应的微刻蚀工艺方法，其特征在于：对微波部件利用Fe(NO₃)₃刻蚀液进行微刻蚀反应时，微刻蚀反应温度为50℃±1℃，反应时间为40s±2s。

5.根据权利要求1所述的一种抑制微波部件微放电效应的微刻蚀工艺方法，其特征在于：步骤(3)中清洗该微波部件具体为：先进行二级水洗，再用超纯水超声清洗2次，每次2min。

6.根据权利要求1所述的一种抑制微波部件微放电效应的微刻蚀工艺方法，所述去除微波部件表面残留的Fe³⁺具体为：将微波部件在50％的盐酸中浸泡20s。