[发明专利]一种用于三氯氢硅合成流化床反应器内的具有三套管结构的指形换热器

摘要

本发明涉及一种用于三氯氢硅合成流化床反应器内的具有三套管结构的指形换热器，它包括导热油进口、换热管上封头、换热管连接法兰、若干个指形三套管换热管和导热油出口；所述指形三套管换热管由内管、衬管和外管构成，并依次由里向外排列；所述内管和衬管环隙间上下两端封闭，并抽真空形成真空隔层。本发明解决了导热油由内管进入内外管环隙时温升较大的问题，能够使流化床温度分布均匀、反应稳定，硅粉利用率和产品纯度均较高。

主权项

一种用于三氯氢硅合成流化床反应器内的具有三套管结构的指形换热器，其特征是，它包括导热油进口(1)、换热管上封头(2)、换热管连接法兰(3)、若干个指形三套管换热管(4)和导热油出口(5)；所述导热油进口(1)位于指形换热器的顶部，其下方依次设有换热管上封头(2)和换热管连接法兰(3)，在所述换热管上封头(2)的侧面设有导热油出口(5)；所述三套管换热管(4)由内管(6)、衬管(7)和外管(8)构成，所述内管(6)、衬管(7)和外管(8)依次由里向外排列；所述内管(6)和衬管(7)环隙间上下两端封闭，并抽真空形成真空隔层。