[发明专利]一种射频电源接入器有效
| 申请号： | 201210424106.5 | 申请日： | 2012-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN103794895A | 公开（公告）日： | 2014-05-14 |
| 发明（设计）人： | 徐湛;苗为民;王青海 | 申请（专利权）人： | 新奥光伏能源有限公司 |
| 主分类号： | H01R13/00 | 分类号： | H01R13/00;H01R13/02;H01R31/06 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华 |
| 地址： | 065001 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及电气设备，公开了一种射频电源接入器，以提高射频电源发生器向PECVD设备的有效输出功率。一种射频电源接入器，包括：两个条形导电板，用于电连接化学气相沉积PECVD设备的射频电源输入端的第一条形汇接板；以及用于电连接射频电源发生器的射频电源输出端的第二条形汇接板；其中：所述第一条形汇接板的两端分别连接一个条形导电板的一端，所述第二条形汇接板的两端分别电连接一个条形导电板的另一端。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 射频 电源 接入 | ||
【主权项】：
一种射频电源接入器，其特征在于，包括：两个条形导电板，用于电连接化学气相沉积PECVD设备的射频电源输入端的第一条形汇接板；以及用于电连接射频电源发生器的射频电源输出端的第二条形汇接板；其中：两个条形导电板相对设置，所述第一条形汇接板的两端分别连接一个条形导电板的一端，所述第二条形汇接板的两端分别电连接一个条形导电板的另一端。
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