[发明专利]直拉锗单晶直径测量控制系统

摘要

直拉锗单晶直径测量控制系统，其特征在于：系统中有摄像机，图像处理装置和自动控制单元，摄像机采集锗单晶等径生长的图像，图像处理装置识别固液交接面光圈位置和计算固液交接面光圈的曲率半径，使自动控制单元实现锗单晶的等径生长。本发明的有益效果是：图像处理卡只对采集图像的光圈部分进行分析，减少数据传输量，降低系统对硬件的性能要求；无需椭圆到圆的复杂映射，只需采集指定点的曲率半径即可根据曲率半径的变化规律进行等径控制；摄像头可将采集的锗单晶生长图像集中传输到一起进行图像处理和分析，便于生产人员实时监控多台设备，降低锗单晶生长的劳动强度；能够最大限度利用现有的设备装置，避免电气控制系统的重复设计与投资。

主权项

直拉锗单晶直径测量控制系统，其特征在于：系统中有摄像机⑷，图像处理装置⑸和自动控制单元⑹，摄像机⑷置于单晶炉观察窗的位置，用于图像观察和同步采集锗单晶等径生长的图像数据，并将图像数据传给图像处理装置⑸；图像处理装置⑸用于对摄像机采集的图像数据进行分析，识别固液交接面光圈⒄的位置及光圈与三条预设直线⒅的相交点位置，并根据这三个相交点位置的坐标拟合出固液交接面光圈⒄的曲率半径，传输给自动控制单元⑹；自动控制单元⑹根据图像处理装置⑸实时传递来的曲率半径数据，进行比较后，发出加热器功率、晶体生长速度和坩埚转速的自动控制信息，实现锗单晶等径生长。