[发明专利]位移传感器无效
申请号: | 201210405077.8 | 申请日: | 2012-10-22 |
公开(公告)号: | CN103090798A | 公开(公告)日: | 2013-05-08 |
发明(设计)人: | 久所之夫;三浦泰祐 | 申请(专利权)人: | 欧姆龙株式会社 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 李静;马强 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供了一种位移传感器,其包括:一种扩散反射板,设置在从激光束光源中发射且从工件的加工表面被正反射的探测光所入射的位置中;线性传感器,接收所述探测光的第一反射光和所述探测光的第二反射光中之一,所述第一反射光从所述扩散反射板被扩散地反射且从工件的加工表面被进一步反射,所述第二反射光从工件的加工表面被扩散地反射;一种信号处理器,使用第一反射光检测第一距离或使用第二反射光检测第二距离,所述第一距离对应于通过工件的加工表面到扩散反射板的探测光行程,第二距离对应于到工件的加工表面的探测光行程。 | ||
搜索关键词: | 位移 传感器 | ||
【主权项】:
一种位移传感器,包括:投光部,所述投光部使用测量光倾斜地照射所测量的物体的表面;扩散反射器,所述扩散反射器设置在从所述所测量的物体的表面正反射的测量光所入射的位置中;受光部,所述受光部接收测量光的第一反射光或者测量光的第二反射光,所述第一反射光从所述扩散反射器被扩散地反射且从所述所测量的物体的表面被进一步地反射,所述第二反射光从所述所测量的物体的表面被扩散地反射;以及信号处理器,所述信号处理器使用所述受光部所接收的第一反射光检测第一距离或使用所述受光部所接收的第二反射光检测第二距离,所述第一距离对应于从所述投光部通过所述所测量的物体的表面到所述扩散反射器的测量光行程,所述第二距离对应于从所述投光部到所述所测量的物体的表面的测量光行程。
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