[发明专利]微机械谐振器

摘要

本发明提供一种微机械谐振器，所述微机械谐振器至少包括：构成惠斯通电桥结构的谐振振子对，其中，所述谐振振子对包括两个具有轴对称结构的谐振振子结构、主支撑梁、第一耦合梁、第一锚点、第二锚点、驱动电极。与传统的电容驱动-压阻检测微机械谐振器相比，本发明利用差分电容激励驱动组成惠斯通电桥的两个谐振振子结构工作，消除输出信号中混有的电容信号，以获得单纯的压阻信号；同时，本发明利用耦合结构将惠斯通电桥的两个谐振振子结构耦合起来，由于耦合结构使两个谐振振子结构连接为一体运动，消除了输出信号中出现两个谐振频率的问题；进一步，本发明结构简单，输出信号大，灵敏度高，受温度影响小。

主权项

一种微机械谐振器，其特征在于，所述微机械谐振器至少包括：构成惠斯通电桥结构的谐振振子对，其中，所述谐振振子对包括：两个具有轴对称结构的谐振振子结构，各该谐振振子结构的对称轴至少包括第一对称轴和第二对称轴，且所述的第一对称轴垂直于第二对称轴；主支撑梁，位于所述第一对称轴上，且两个谐振振子结构通过各自的主支撑梁相互连接；第一耦合梁，一端连接于相互连接的所述主支撑梁上；第一锚点，连接于所述第一耦合梁的另一端，且所述第一锚点连接于输出端；第二锚点，与所述主支撑梁的自由端相连接，其中，一谐振振子结构的第二锚点连接至第一直流电源，另一谐振振子结构的第二锚点接地；  驱动电极，分别分布于各该谐振振子结构的相对侧，且与各该谐振振子结构之间形成有驱动间隙，所述驱动电极通过电阻连接至第二直流电源，且所述驱动电极通过电容连接至交流电源，其中，与一谐振振子结构相连接的交流电源输出正电压，与另一谐振振子结构相连接的交流电源输出负电压。