[发明专利]一种大尺寸石墨烯的无损转移方法

摘要

本发明是一种大尺寸石墨烯的无损转移方法，针对CVD生长大尺寸石墨烯难以无损转移的问题，采用在石墨烯表层旋涂有机溶剂涂层、烘干有机涂层、腐蚀溶剂溶解铜箔基体，将石墨烯转移到目标基体上，再去除有机溶剂包覆层的方法，精确控制各过程工艺参数，实现大尺度石墨烯的无损高效转移。该方法包括以下步骤：A.大尺寸石墨烯的旋涂；B.铜箔基体的腐蚀去除；C.石墨烯薄膜的漂洗及转移烘干；D.PMMA的去除；从而得到转移到玻璃片上的无损大尺寸石墨烯。采用本发明方法，可以简单、高效、稳定地将大尺寸石墨烯完整地转移到目标基体上，为石墨烯在触摸屏等光电子器件上的应用铺平道路。

主权项

一种大尺寸石墨烯的无损转移方法，其特征在于该方法包括以下步骤：A.大尺寸石墨烯的旋涂:将生长有石墨烯薄膜的5cm×5cm～15cm×15cm金属铜箔放在匀胶机上，在生长有石墨烯的铜箔上表面滴涂聚甲基丙烯酸甲酯PMMA有机溶剂涂层，启动匀胶机，使PMMA均匀包覆铜箔，再将铜箔放在加热台上，烘干PMMA溶剂；B.铜箔基体的腐蚀去除：将上述旋涂有PMMA溶剂的铜箔放入铜的腐蚀液中腐蚀，去除铜箔基体；C.石墨烯薄膜的漂洗及转移烘干：用玻璃基板将石墨烯薄膜捞起放入装有去离子水的烧杯中漂洗，再用玻璃基板捞起漂浮于去离子水中的大尺寸石墨烯，将转移有石墨烯的玻璃片放在加热台上烘干，去除石墨烯与玻璃片界面之间的水分；D.PMMA的去除：将烘干的转移有石墨烯的玻璃片放入热丙酮溶液中，去除PMMA，从而得到转移到玻璃片上的无损大尺寸石墨烯。