[发明专利]光学元件折射率的检测方法及其检测装置

摘要

本发明提供一种针对小型光学元件折射率的非破坏性高精度的测试方法及其检测装置。光学元件折射率的检测方法，该方法包括以下步骤：1）光源发出的光经过准直透镜和光缝后，分别平行入射到第一样品池和第二样品池中，经会聚透镜会聚于柱面镜，在柱面镜后的观察管中看到上下两列干涉条纹；2）将被测的光学元件放入第一样品池中，上半部干涉条纹会相对下半部干涉条纹有移动；3）通过观察干涉条纹的移动情况，计算出干涉级次，通过公式运算得到被测的光学元件的折射率值。本发明利用瑞利干涉仪，建立一套新的测试方法，采用其双光束干涉精度高、结构简单、使用方便的特点，实现对小型或异型光学元件折射率的非破坏性高精度测试。

主权项

光学元件折射率的检测方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：1）在第一样品池（4）和第二样品池（5）中装有相同的等量的折射液，光源（1）发出的光经过准直透镜（2）和光缝（3）后，分别平行入射到第一样品池（4）和第二样品池（5）中，入射光通过第一样品池（4）和第二样品池（5）以及第一补偿器（10）和第二补偿器（11）后，经会聚透镜（7）会聚于柱面镜（8），在柱面镜（8）后的观察管（9）中看到上下两列干涉条纹，一列由光缝（3）的上半部分两束光干涉形成，一列由光缝（3）的下半部分两束光干涉形成，上、下半部分的光程差不变，干涉条纹固定不动，上半部干涉条纹和下半部干涉条纹对齐；2）将被测的光学元件放入第一样品池（4）中，上半部干涉条纹会相对下半部干涉条纹有移动；3）引起的光程差为：Δ=(n₂‑n₁)L=K λ上式中：λ—光源波长；K—对应光程差的干涉级；L—被测的光学元件试样沿光轴方向的长度；n₁—被测的光学元件的折射率；n₂—样品池内折射液的折射率；通过观察干涉条纹的移动情况，计算出干涉级次，代入上式中，得到被测的光学元件的折射率值n₁。