[发明专利]片材制造装置有效
申请号: | 201210393420.1 | 申请日: | 2009-03-13 |
公开(公告)号: | CN102925986A | 公开(公告)日: | 2013-02-13 |
发明(设计)人: | 彼德·L·凯勒曼;法兰克·辛克莱 | 申请(专利权)人: | 瓦里安半导体设备公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;C30B29/06 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 臧建明 |
地址: | 美国麻萨诸塞*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | 一种片材制造装置,包括一容器,其定义出一通道以容纳一熔体。熔体会从通道的一第一位置流至一第二位置。一冷却板邻近熔体,用以在熔体上形成一片材。一溢流道配置于通道的第二位置。溢流道用以将片材从熔体分离。 | ||
搜索关键词: | 制造 装置 | ||
【主权项】:
一种片材制造装置,包括:一容器,定义出一通道以容纳一材料的一熔体,该熔体会从该通道的一第一位置流至一第二位置;一冷却板,邻近该熔体,该冷却板用以在该熔体上形成该材料的一片材;以及一溢流道,配置于该通道的该第二位置,该溢流道用以将该片材从该熔体分离。
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