[发明专利]一种基于能动光学技术的能动变形镜的光刻照明装置及照明方法无效
| 申请号： | 201210384530.1 | 申请日： | 2012-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN102880014A | 公开（公告）日： | 2013-01-16 |
| 发明（设计）人： | 陈红丽;邢廷文;林妩媚;廖志杰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/09;G02B27/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 杨学明;李新华 |
| 地址： | 610209 *** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基于能动光学技术的能动变形镜的光刻照明装置及照明方法，采用能动变形镜产生各种照明光瞳形状。能动变形镜的每个能动单元通过电压进行控制，可以利用优化算法、优化设计等来产生任意的照明光瞳形状，无需针对不同的掩模来设置机械转盘或离线设计衍射光学元件，操作灵活，只需通过计算机进行在线控制，具有较高的响应速度，提高了产率。由于本发明提供的方法可以产生任意的照明光瞳形状，能更好的满足一些特殊掩模图形的需要。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 能动 光学 技术 变形 光刻 照明 装置 方法 | ||
【主权项】：
一种基于能动光学技术的能动变形镜的光刻照明装置，其特征在于：该装置按光束传播的方向依次包括：激光器（1），扩束器（2），能动变形单元（3），变焦透镜组（4），旋转三棱镜组（5），匀光器（6），聚光镜（7）和掩模（8），所述的能动变形单元（3）包括基于能动光学技术的能动变形镜（301）和控制计算机（302），通过控制计算机（302）控制该能动变形镜产生各种特定的变形，所述激光器（1）发出照射光束，经过所述的能动变形镜（301），变焦透镜组（4），旋转三棱镜组（5）来调整光瞳形貌，然后再经匀光器（6），聚光镜（7）进行匀光，照射到掩模（8）上。
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