[发明专利]用于压力感测器的自我测试结构及其方法有效
| 申请号： | 201210381310.3 | 申请日： | 2012-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN103712737A | 公开（公告）日： | 2014-04-09 |
| 发明（设计）人： | 郑惟仁 | 申请（专利权）人： | 京元电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L25/00 | 分类号： | G01L25/00;G01L1/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 11019 | 代理人： | 寿宁 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是有关于一种用于压力感测器的自我测试结构及其方法。自我测试结构包含基板、多个薄膜层、固定部、电热单元及感测电路单元。薄膜层堆叠形成于基板上。固定部设于薄膜层上方，其中固定部包含凹槽，与薄膜层之间形成腔体。电热单元形成于其中之一的薄膜层中，感测电路单元形成于其中另一个薄膜层中，其中电热单元根据输入电压予以加热提高腔体压力，使薄膜层产生微变形，而感测电路单元则根据微变形输出测试信号。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 压力 感测器 自我 测试 结构 及其 方法 | ||
【主权项】：
一种用于压力感测器的自我测试结构，其特征在于其包含:基板；多个薄膜层，堆叠形成于该基板上;固定部，设于所述多个薄膜层上方，其中该固定部具有凹槽，且该凹槽与所述多个薄膜层形成腔体；电热单元，形成于该其中之一薄膜层中；及感测电路单元，形成于该其中另一个薄膜层中；其中该电热单元根据输入电压予以加热提高该腔体压力，使所述多个薄膜层产生微变形，而该感测电路单元则根据该微变形输出测试信号。
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