[发明专利]用于压力感测器的自我测试结构及其方法

权利要求书

1.一种用于压力感测器的自我测试结构，其特征在于其包含:

基板；

多个薄膜层，堆叠形成于该基板上;

固定部，设于所述多个薄膜层上方，其中该固定部具有凹槽，且该凹槽与所述多个薄膜层形成腔体；

电热单元，形成于该其中之一薄膜层中；及

感测电路单元，形成于该其中另一个薄膜层中；

其中该电热单元根据输入电压予以加热提高该腔体压力，使所述多个薄膜层产生微变形，而该感测电路单元则根据该微变形输出测试信号。

2.根据权利要求1所述的用于压力感测器的自我测试结构，其特征在于，其中该电热单元为金属材质。

3.根据权利要求1所述的用于压力感测器的自我测试结构，其特征在于，其中该薄膜层设有穿孔。

4.根据权利要求2所述的用于压力感测器的自我测试结构，其特征在于，其中该电热单元具有环状结构。

5.根据权利要求2所述的用于压力感测器的自我测试结构，其特征在于，其中该电热单元具有蜿蜒状结构。

6.根据权利要求2所述的用于压力感测器的自我测试结构，其特征在于，其中该电热单元具有回圈状结构。

7.根据权利要求1所述的用于压力感测器的自我测试结构，其特征在于，其中该感测电路单元包含惠斯顿电桥电路。

8.一种用于压力感测器的自我测试方法，其中该压力感测器具有多个薄膜层，其特征在于该方法包含：

提供输入电压至自我测试结构；

根据该输入电压予以加热提高腔体压力，使所述多个薄膜层产生微变形；及

输出对应该微变形的测试信号。

9.根据权利要求8所述的用于压力感测器的自我测试方法，其特征在于，其中提供该输入电压的步骤包含：将该输入电压自输入端予以输入，并且通过所述多个薄膜层的穿孔传送至电热单元。

10.根据权利要求8所述的用于压力感测器的自我测试方法，其特征在于，其中输出该测试信号的步骤包含：使用感测电路单元，检测所述多个薄膜层的该变化，以判读是否良好完整，其中该感测电路单元等效为惠斯顿电桥电路。