[发明专利]柔性基材表面处理装置和处理方法

摘要

一种柔性基材表面处理装置，包括直流电源、真空装置、传输装置和置于真空装置中的阴极板和阳极板，阴极板正对阳极板，每块极板的外侧都分别设置有冷却水管，冷却水管包括进水管和出水管；阴极板正对阳极板的一侧设置有工艺气管。利用粒子轰击产生的热量直接作用于柔性基材进行烘烤脱气，加快柔性基材表面吸附水的脱离，缩短了脱气时间的同时还增加了柔性基材膜的脱气效果，克服了传统的因使用辐射传递热能的方式而导致脱气效率低的问题。同时由于电子对柔性基材的轰击，使得柔性基材的有机聚合饱和共价键活化成单链不饱和共价键，改变了原柔性基材的表面特性。

主权项

一种柔性基材表面处理装置，其特征在于，包括控制系统、电源、传输装置、真空腔体以及在所述真空腔体内相对设置的阴极板和阳极板，所述控制系统控制所述电源的输出电压和输出电流，所述传输装置可携带所述柔性基材从所述阴极板及所述阳极板中间穿过；所述阴极板及所述阳极板上分别设有冷却水管，所述阴极板上设有与所述真空腔体连通的工艺气体管。