[发明专利]一种具有室温铁磁性的C-Al2O3-δ复合薄膜材料及其制备方法无效
| 申请号： | 201210372931.5 | 申请日： | 2012-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN102945727A | 公开（公告）日： | 2013-02-27 |
| 发明（设计）人： | 甄聪棉;刘秀敏;郑玉龙;马丽;潘成福;侯登录 | 申请（专利权）人： | 河北师范大学 |
| 主分类号： | H01F10/193 | 分类号： | H01F10/193;H01F41/14;H01F41/18 |
| 代理公司： | 石家庄新世纪专利商标事务所有限公司 13100 | 代理人： | 董金国 |
| 地址： | 050024 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种化学式为C-Al2O3-δ具有室温铁磁性的复合薄膜材料，式中C的体积百分比≤10vol%，Al2O3-δ相对Al2O3是一种缺氧状态氧化铝薄膜材料。其制备方法是：利用射频溅射的方法制备得到一系列不同C含量的C-Al2O3-δ复合薄膜。Al2O3体材料本身没有磁性，本发明采用C和Al2O3-δ基质的界面限制效应制备复合薄膜使其具有磁性。本发明与成熟的半导体工艺兼容，制备工艺简单，磁性C-Al2O3-δ复合薄膜材料在新型磁存储器、微型自旋电子学器件等方面都有潜在的应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 室温 铁磁性 al sub 复合 薄膜 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种具有室温铁磁性的C‑Al2O3‑δ复合薄膜材料，其特征在于：式中C的体积百分比≤10 vol%。
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