[发明专利]一种基于CGH实现小孔中心定位的装置及其方法

摘要

本发明提供一种基于CGH实现小孔中心定位的装置及其方法，该装置主要包括：实验平台（5），干涉仪（6）、标准镜头（7）、空间滤波器（16）、CGH（8）、成像透镜（9）、CCD（10）和计算机（11），干涉仪（6）提供一束准直光，而标准镜头（7）、空间滤波器（16）、CGH（8）、点衍射板（4）、成像透镜（9）和CCD（10）依次位于该准直光的光路中，并且它们的旋转中心轴与准直光束中心轴重合；CCD（10）经过模－数转换之后和计算机（11）连接，计算机（11）中配置图像处理软件和图像处理算法。本发明具有精度高、无需加工定位标记的优点，适合于需要对小孔中心进行精确定位的生产企业、科研和检测单位使用。

主权项

一种基于CGH实现小孔中心定位的装置，其特征在于：该装置包括：实验平台（5）、第一调整机构（12）、干涉仪（6）、标准镜头（7）、第二调整机构（13）、空间滤波器（16）、CGH（8）、第三调整机构（14）、点衍射板（4）、第四调整机构（15）、成像透镜（9）、CCD（10）和计算机（11），点衍射板（4）带有小孔，该小孔是该装置的定位对象；所述干涉仪（6）固定在第一调整机构（12）上，第一调整机构（12）可以调节干涉仪（6）的俯仰，通过调节第一调整机构（12），保证从干涉仪（6）出射的光束能水平传播；干涉仪（6）提供一束准直光，标准镜头（7）、空间滤波器（16）、CGH（8）、点衍射板（4）、成像透镜（9）和CCD（10）依次位于该准直光的光路中，并且标准镜头（7）、空间滤波器（16）、CGH（8）、点衍射板（4）和成像透镜（9）的旋转中心轴与准直光中心轴重合；所述第二调整机构（13）、第三调整机构（14）和第四调整机构（15）为五维精密调整机构，第二调整机构（13）、第三调整机构（14）和第四调整机构（15）分别调整标准镜头（7）、CGH（8）和点衍射板（4）的俯仰、偏摆以及沿x方向、y方向和沿z方向的平移；CCD（10）接收的信号经过模—数转换之后和计算机（11）连接，使用计算机（11）的图像处理软件和图像处理算法能够确定CCD（10）接收面上任意位置的光强。