[发明专利]一种小绒面、高电阻率太阳能电池的生产方法

摘要

本发明是一种小绒面、高电阻率太阳能电池的生产方法，该生产方法包括如下步骤：A、片源检测：分选电阻率高于6Ω·cm的硅片；B、制绒：在低浓度的氢氧化钠溶液中制绒；C、扩散：把上述制绒后硅片送入820度高温炉中通磷源扩散磷原子形成高方阻的PN结；D、刻蚀：使用等离子体气体，刻蚀硅片的周边；E、去二氧化硅：将上述硅片放入浓度为10%的氢氟酸溶液浸泡4分钟；F、氮化硅层：在上述硅片扩散面镀氮化硅层；G、丝网印刷：在上述硅片表面印刷具有导电功能的银浆和铝浆；H、烧结：对上述硅片进行烧结。本发明工艺简单方便、变废为宝，将高电阻率的硅片也用来制作太阳能电池，提高利用率，提高生产效率，降低产品的不合格率。

主权项

一种小绒面、高电阻率太阳能电池的生产方法，其特征在于：所述生产方法包括如下步骤：    A、片源检测：分选电阻率高于6Ω·cm的硅片；    B、制绒：在低浓度的氢氧化钠溶液中制绒，制绒反应温度为75‑80度，时间为14‑16分钟，NaOH浓度质量体积比为1.0‑1.5%；形成金字塔小绒面，小绒面大小为1‑2μm；    C、扩散：把上述制绒后硅片送入820度高温炉中通磷源扩散磷原子，通源量为1200‑1400Sccm，时间为10分钟，形成高方阻的PN结；    D、刻蚀：使用等离子体气体，刻蚀硅片的周边，去除硅片四周的导电层；     E、去二氧化硅：将上述硅片放入浓度为10%的氢氟酸溶液浸泡4分钟；    F、氮化硅层：在上述硅片的扩散面镀氮化硅层；    G、丝网印刷：在上述硅片表面印刷具有导电功能的银浆和铝浆；    H、烧结：对上述硅片进行烧结，形成良好的欧姆接触。