[发明专利]一种用于熔解晶体硅的坩埚及其制备方法和喷涂液有效
申请号: | 201210326561.1 | 申请日: | 2012-09-06 |
公开(公告)号: | CN102797042A | 公开(公告)日: | 2012-11-28 |
发明(设计)人: | 张礼强 | 申请(专利权)人: | 张礼强 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;F27B14/10;C04B41/87 |
代理公司: | 台州市方圆专利事务所 33107 | 代理人: | 蔡正保;张智平 |
地址: | 318000 浙江省台州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及一种用于熔解晶体硅的坩埚及制备方法和喷涂液,属于坩埚技术领域。解决现有坩埚在使用过程中涂层易剥落和破损现象,不能很好的防止杂质的渗透的问题,目的在于提供一种用于熔解晶体硅的坩埚的涂层的喷涂液,该喷涂液包含氮化硅、烧结添加剂、在常温下能够与坩埚本体粘结的有机粘结剂、无机粘结剂和烧结粘结剂。还提供了一种采用该喷涂液的坩埚,该坩埚包括坩埚本体,所述的坩埚本体的内表面涂覆有涂层,所述的涂层由喷涂液喷涂而成,还提供了一种该坩埚的制备方法,通过喷涂、干燥、烧除、烧结处理后得到用于熔解晶体硅的坩埚。该坩埚能够重复使用,且涂层不易剥落和破损,能够有效了防止坩埚本体中的杂质特别是氧元素的渗透现象。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 熔解 晶体 坩埚 及其 制备 方法 喷涂 | ||
【主权项】:
一种用于熔解晶体硅的坩埚,其特征在于,包括坩埚本体(1),所述的坩埚本体(1)的内表面涂覆有涂层(2),所述的涂层(2)由喷涂液喷涂而成,所述喷涂液包含氮化硅、烧结添加剂、在常温下能够与坩埚本体(1)粘结的有机粘结剂、无机粘结剂和烧结粘结剂。
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