[发明专利]一种用于熔解晶体硅的坩埚及其制备方法和喷涂液有效
申请号: | 201210326561.1 | 申请日: | 2012-09-06 |
公开(公告)号: | CN102797042A | 公开(公告)日: | 2012-11-28 |
发明(设计)人: | 张礼强 | 申请(专利权)人: | 张礼强 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00;F27B14/10;C04B41/87 |
代理公司: | 台州市方圆专利事务所 33107 | 代理人: | 蔡正保;张智平 |
地址: | 318000 浙江省台州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 熔解 晶体 坩埚 及其 制备 方法 喷涂 | ||
1.一种用于熔解晶体硅的坩埚,其特征在于,包括坩埚本体(1),所述的坩埚本体(1)的内表面涂覆有涂层(2),所述的涂层(2)由喷涂液喷涂而成,所述喷涂液包含氮化硅、烧结添加剂、在常温下能够与坩埚本体(1)粘结的有机粘结剂、无机粘结剂和烧结粘结剂。
2.根据权利要求1所述的用于熔解晶体硅的坩埚,其特征在于,所述的喷涂液包含以下成份的重量份:
氮化硅:100; 烧结添加剂:0.05~6.0;
无机粘结剂:0.05~6.0; 有机粘结剂:0.5~50;
烧结粘结剂:1.0~40。
3.根据权利要求1所述的用于熔解晶体硅的坩埚,其特征在于,所述喷涂液中还包含分散剂。
4.根据权利要求3所述的用于熔解晶体硅的坩埚,其特征在于,所述分散剂选自有机硅、聚乙烯醇、聚丙烯酸中的一种或几种。
5.根据权利要求1或3或4所述的用于熔解晶体硅的坩埚,其特征在于,所述喷涂液中还包含膨胀剂。
6.根据权利要求5所述的用于熔解晶体硅的坩埚,其特征在于,所述的膨胀剂为氨基甲酸乙酯、氨基乙酸乙酯中的一种或几种。
7.根据权利要求1所述的用于熔解晶体硅的坩埚,其特征在于,所述的无机粘结剂为纳米无机粘结剂。
8.根据权利要求1或7所述的用于熔解晶体硅的坩埚,其特征在于,所述的无机粘结剂选自莫来石、胶体二氧化硅、氟硅酸钠、磷酸氧化物中的一种或几种。
9.根据权利要求1所述的用于熔解晶体硅的坩埚,其特征在于,所述的烧结粘结剂为纳米金属氧化物。
10.根据权利要求1或9所述的用于熔解晶体硅的坩埚,其特征在于,所述的烧结粘结剂选自氧化铝、氧化钙、氧化镁、二氧化硅中的一种或多种。
11.根据权利要求1所述的用于熔解晶体硅的坩埚,其特征在于,所述的有机粘结剂选自聚乙烯醇、甲基丙烯酸正丙酯、甲基丙烯酸正丁酯中的一种或几种。
12.根据权利要求1所述的用于熔解晶体硅的坩埚,其特征在于,所述的烧结添加剂选自稀土或稀土氧化物中一种或几种。
13.根据权利要求12所述的用于熔解晶体硅的坩埚,其特征在于,所述的稀土氧化物选自氧化钇、氧化镧、氧化镨、氧化铒中的一种或几种。
14.根据权利要求1所述的用于熔解晶体硅的坩埚,其特征在于,所述坩埚本体(1)采用含氧化铝的原料制成。
15.根据权利要求1所述的用于熔解晶体硅的坩埚,其特征在于,所述坩埚本体(1)采用含氧化钇的原料制成。
16.根据权利要求1所述的用于熔解晶体硅的坩埚,其特征在于,所述坩埚本体(1)采用含氧化锆的原料制成。
17.根据权利要求1所述的用于熔解晶体硅的坩埚,其特征在于,所述坩埚本体(1)采用含氮化硅的原料制成。
18.根据权利要求1或3或14或15或16或17所述的用于熔解晶体硅的坩埚,其特征在于,所述的涂层的平均厚度不小于1mm。
19.一种用于熔解晶体硅的坩埚的涂层的喷涂液,其特征在于,所述喷涂液包含氮化硅、烧结添加剂、在常温下能够与坩埚本体(1)粘结的有机粘结剂、无机粘结剂和烧结粘结剂。
20.根据权利要求19所述的用于熔解晶体硅的坩埚的涂层的喷涂液,其特征在于,所述喷涂液包含以下成分的重量份:
氮化硅:100; 烧结添加剂:0.05~6.0;
无机粘结剂:0.05~6.0;有机粘结剂:0.5~50;
烧结粘结剂:1.0~40。
21.根据权利要求19所述的用于熔解晶体硅的坩埚的涂层的喷涂液,其特征在于,所述喷涂液中还包含分散剂。
22.根据权利要求21所述的用于熔解晶体硅的坩埚的涂层的喷涂液,其特征在于,所述分散剂选自有机硅、聚乙烯醇、聚丙烯酸中的一种或几种。
23.根据权利要求19或21或22所述的用于熔解晶体硅的坩埚的涂层的喷涂液,其特征在于,所述喷涂液还包含膨胀剂。
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