[发明专利]一种损伤阈值测量中微小尺度损伤点的识别方法及装置

摘要

本发明涉及一种损伤阈值测量中微小尺度损伤点的识别方法及装置，所述的方法包括以下步骤：采用暗场照明，在线显微镜在泵浦激光辐照前对被测样品进行拍摄，获得图片a；计算机对图片a进行处理，分别识别出图片a中所有灰度高于阈值T高和T低的缺陷点，获得缺陷点数据D0高和D0低；在线显微镜对辐射后的被测样品进行拍摄，获得图片b，计算机识别出图片b中所有灰度高于T高的缺陷点，获得缺陷点数据D1高；将D1高中的每一个缺陷点与D0高和D0低中的所有缺陷点进行逐一比较；计算机根据比较结果以及判定准则，识别样品是否发生损伤；所述的装置包括泵浦激光器、电动平移台、照明光源、在线显微镜和计算机。与现有技术相比，本发明具有可有效识别微小尺度损伤点、识别精度高等优点。

主权项

一种损伤阈值测量中微小尺度损伤点的识别方法，其特征在于，该方法包括以下步骤：①将被测样品固定在电动平移台，采用暗场照明，在线显微镜对准泵浦激光辐照被测样品的位置，在泵浦激光辐照前对被测样品进行拍摄，获得图片a，并将图片a传送至计算机中；②计算机对图片a进行处理，根据预先设定的阈值T高和T低，分别识别出图片a中所有灰度高于T高和T低的缺陷点，获得缺陷点数据D0高和D0低；③计算机控制泵浦激光器辐照被测样品，在线显微镜对辐射后的被测样品进行拍摄，获得图片b，并传送至计算机，计算机根据阈值T高识别出图片b中所有灰度高于T高的缺陷点，获得缺陷点数据D1高；④计算机将D1高中的每一个缺陷点与D0高和D0低中的所有缺陷点进行逐一比较，获得缺陷点间的位置偏差和尺寸偏差；⑤计算机根据步骤④获得的位置偏差、尺寸偏差以及预先设定的位置容差E1、尺寸容差E2、判定准则，识别样品是否发生损伤；⑥重复上述步骤①～⑤，实现被测样品同一位置在泵浦激光多个脉冲辐照下的损伤识别；⑦计算机移动电动平移台，重复步骤①～⑥，实现被测样品不同位置的损伤识别。