[发明专利]中阶梯光栅光谱仪、原子发射光谱仪及光谱测试方法有效
申请号: | 201210310554.2 | 申请日: | 2012-08-28 |
公开(公告)号: | CN102879091A | 公开(公告)日: | 2013-01-16 |
发明(设计)人: | 陈少杰;宁春丽;崔继承;巴音贺希格;齐向东;唐玉国 | 申请(专利权)人: | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
主分类号: | G01J3/28 | 分类号: | G01J3/28;G01J3/443;G01N21/71 |
代理公司: | 长春菁华专利商标代理事务所 22210 | 代理人: | 王淑秋 |
地址: | 130033 吉*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | 本发明涉及一种中阶梯光栅光谱仪、基于中阶梯光栅光谱仪的原子发射光谱仪、及原子发射光谱仪进行光谱测试的方法。本发明采用中阶梯光栅作为主色散元件;光源发出的光线经聚光镜聚焦在入射针孔,入射针孔出射光束经准直镜准直后入射到中阶梯光栅进行主色散,然后入射到交叉色散棱镜进行横向色散,交叉色散后经聚焦镜成像在CCD的像面上;通过改变交叉色散棱镜的入射角度,实现了200nm-900nm波段范围内的快速测量,具有宽波段、高分辨率、高灵敏度、低噪声、小体积的优点。实验结果表明本发明测试简便、灵敏度高、试样消耗量少、可实现宽波段多元素的快速测量。 | ||
搜索关键词: | 阶梯 光栅 光谱仪 原子 发射 光谱 测试 方法 | ||
【主权项】:
一种中阶梯光栅光谱仪,包括聚光镜(1)、入射针孔(2)、准直镜(3)、中阶梯光栅(4)、交叉色散棱镜(5)、聚焦镜(6),箱体(7)和面阵探测器(8);其特征在于还包括旋转驱动机构(13),所述旋转驱动机构(13)的旋转轴与交叉色散棱镜(5)固定连接。
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