[发明专利]一种在二氧化钛有机无机光敏复合薄膜上制备凹透镜阵列结构的方法

摘要

一种在二氧化钛有机无机光敏复合薄膜上制备凹透镜阵列结构的方法，首先通过光学光刻技术结合光刻胶热回流的方法制备得到具有微凸透镜阵列结构母版，由此母版复制得到具有凹透镜阵列结构的PDMS软模板，以此PDMS软模板做为母版二次复制得到具有凸透镜阵列结构的PDMS软模板，最后通过紫外软压印光刻技术在二氧化钛基有机-无机光敏复合薄膜上制备得到凹透镜阵列结构。最终得到的凹透镜阵列结构的尺寸可以通过母版图形尺寸来调节，凹透镜阵列结构的基本光学参数可通过调节光敏复合材料的折射率等实现，特别是本发明具有制作快速，低成本，高精度，可批量生产，是一种制备凹透镜阵列结构的有效方法。

主权项

一种在二氧化钛有机无机光敏复合薄膜上制备凹透镜阵列结构的方法，其特征在于：1）首先，利用JKG‑2A型光刻机通过圆形阵列掩模板在AZ5214‑E型光刻胶上采用接触式曝光60s，然后在AZ‑Developer型号的显影液中显影60s得到圆柱体阵列结构，然后将所得到的圆柱体阵列结构在热板上160℃热回流30分钟，得到具有凸透镜阵列结构的光刻胶母版；2）将型号为Sylgard184的PDMS预聚物和固化剂按10∶1的重量比混合搅匀，并将其放入真空干燥箱中直至气泡完全去除，然后，将其浇注在具有凸透镜阵列结构的光刻胶母版上并烘干固化，最后将固化完全的PDMS从凸透镜阵列结构的光刻胶母版上剥离，得到具有凹透镜阵列结构的PDMS软模板；3）将2）中去除完气泡的PDMS预聚物和固化剂的混合物浇注到具有凹透镜阵列结构的PDMS软模板上，并烘干固化，最后将固化完全的PDMS剥离，得到具有凸透镜阵列结构的PDMS软模板；4）利用旋涂层工艺，以每分钟1000转的转速在载玻片上制备具有紫外光敏特性的二氧化钛有机无机复合薄膜，并以此作为压印层，将具有凸透镜阵列结构的PDMS软模板压印到复合薄膜上，然后将其置于紫外灯正下方曝光固化，最后将固化完全的光敏复合薄膜从将具有凸透镜阵列结构的PDMS软模板剥离，在烘箱中干燥，从而在二氧化钛有机无机光敏复合薄膜上制备得到了凹透镜阵列结构。