[发明专利]一种超纯度氟化铵侵蚀剂的制备方法无效
| 申请号： | 201210297397.6 | 申请日： | 2012-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN102774858A | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 孔祥风 | 申请（专利权）人： | 天津市风船化学试剂科技有限公司 |
| 主分类号： | C01C1/16 | 分类号： | C01C1/16 |
| 代理公司： | 天津盛理知识产权代理有限公司 12209 | 代理人： | 王来佳 |
| 地址： | 30024*** | 国省代码： | 天津;12 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种超纯度氟化铵侵蚀剂的制备方法，包括以下步骤：⑴原料氢氟酸的除杂处理：在氢氟酸溶液内加入有效试剂，通过二次精馏和微膜过滤的方法除杂；⑵原料氟化铵的除杂处理：将氟化铵溶液通过微膜过滤进行除杂；⑶按体积配比混合：将除杂处理后的氟化铵与氢氟酸溶液以体积比5-15：1混合，即得到不同用途的超纯度氟化铵侵蚀剂溶液。本发明制得的氟化铵侵蚀剂纯度高，产品质量稳定，用于二氧化硅层的缓冲氧化腐蚀，主要应用于半导体集成电路制造等微电子高新技术行业。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纯度 氟化 侵蚀 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种超纯度氟化铵侵蚀剂的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：⑴原料氢氟酸的除杂处理：在氢氟酸溶液内加入有效试剂，通过二次精馏和微膜过滤的方法除杂；⑵原料氟化铵的除杂处理：将氟化铵溶液通过微膜过滤进行除杂；⑶按体积配比混合：将除杂处理后的氟化铵与氢氟酸溶液以体积比5‑15：1混合，即得到不同用途的超纯度氟化铵侵蚀剂溶液。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于天津市风船化学试剂科技有限公司，未经天津市风船化学试剂科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201210297397.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
