[发明专利]检测器设备有效
申请号: | 201210292665.5 | 申请日: | 2012-08-16 |
公开(公告)号: | CN102954837A | 公开(公告)日: | 2013-03-06 |
发明(设计)人: | 弗兰克·施赖伯;贝恩德·维茨戈夫斯基;霍尔格·比尔克 | 申请(专利权)人: | 莱卡微系统CMS有限责任公司 |
主分类号: | G01J1/02 | 分类号: | G01J1/02;H01L31/024;G02B21/00 |
代理公司: | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人: | 黄德海;宋合成 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | 本发明涉及一种检测器设备,检测器设备被配备以接收光和产生电信号,检测器设备具有包括光入射侧的光传感器,且具有冷却部件。根据本发明,可以提供:冷却部件在光传感器的光入射侧与光传感器直接接触和/或与承载光传感器的衬底直接接触。 | ||
搜索关键词: | 检测器 设备 | ||
【主权项】:
一种检测器设备(1),所述检测器设备(1)被配备以接收光(2)和产生电信号,所述检测器设备(1)具有包括光入射侧的光传感器(6),且具有冷却部件,其中,所述冷却部件在所述光传感器(6)的光入射侧与所述光传感器直接接触和/或与承载所述光传感器(6)的衬底(7)直接接触。
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