[发明专利]检测器设备有效

专利信息
申请号: 201210292665.5 申请日: 2012-08-16
公开(公告)号: CN102954837A 公开(公告)日: 2013-03-06
发明(设计)人: 弗兰克·施赖伯;贝恩德·维茨戈夫斯基;霍尔格·比尔克 申请(专利权)人: 莱卡微系统CMS有限责任公司
主分类号: G01J1/02 分类号: G01J1/02;H01L31/024;G02B21/00
代理公司: 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 代理人: 黄德海;宋合成
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 发明涉及一种检测器设备,检测器设备被配备以接收光和产生电信号,检测器设备具有包括光入射侧的光传感器,且具有冷却部件。根据本发明,可以提供:冷却部件在光传感器的光入射侧与光传感器直接接触和/或与承载光传感器的衬底直接接触。
搜索关键词: 检测器 设备
【主权项】:
一种检测器设备(1),所述检测器设备(1)被配备以接收光(2)和产生电信号,所述检测器设备(1)具有包括光入射侧的光传感器(6),且具有冷却部件,其中,所述冷却部件在所述光传感器(6)的光入射侧与所述光传感器直接接触和/或与承载所述光传感器(6)的衬底(7)直接接触。
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