[发明专利]检测器设备

权利要求书

1.一种检测器设备(1)，所述检测器设备(1)被配备以接收光(2)和产生电信号，所述检测器设备(1)具有包括光入射侧的光传感器(6)，且具有冷却部件，其中，所述冷却部件在所述光传感器(6)的光入射侧与所述光传感器直接接触和/或与承载所述光传感器(6)的衬底(7)直接接触。

2.根据权利要求1所述的检测器设备(1)，其中所述检测器设备包括壳体(4)；和/或所述光传感器(6)和所述冷却部件(11)布置在壳体(4)内。

3.根据权利要求1或2所述的检测器设备(1)，其中通过所述冷却部件(11)的光路被限定用于待检测的光(2)。

4.根据权利要求1至3中的任一项所述的检测器设备(1)，其中所述冷却部件(11)被配备作为导热的电绝缘中间元件(12)。

5.根据权利要求1至4中的任一项所述的检测器设备(1)，其中设置另一冷却部件(13)，特别是在所述壳体(4)内设置所述另一冷却部件(13)；和/或设置与所述冷却部件(11)导热接触的另一冷却部件(13)。

6.根据权利要求5所述的检测器设备(1)，其中

a.限定延伸通过所述另一冷却部件(13)的用于待检测的光(2)的光路；和/或

b.所述另一冷却部件(13)被配备作为导热的电绝缘中间元件(12)；和/或

c.所述另一冷却部件(13)与所述检测器(5)的光传感器(6)、特别是光阴极(8)、直接接触，和/或与承载所述光传感器(6)、特别是光阴极(8)的衬底(7)直接接触。

7.根据权利要求1至6中的任一项所述的检测器设备(1)，其中所述冷却部件(11)和/或所述另一冷却部件(13)被配备作为主动冷却部件(11)，特别是作为帕尔贴元件(14)或作为热泵或作为热管。

8.根据权利要求1至7中的任一项所述的检测器设备(1)，其中所述冷却部件(11)和/或所述另一冷却部件(13)被布置使得所述冷却部件(11)和/或所述另一冷却部件(13)的余热加热至少所述壳体(4)的入口窗和/或所述壳体(4)的入口光学部件。

9.根据权利要求1至8中的任一项所述的检测器设备(1)，其中所述冷却部件(11)和/或所述另一冷却部件(13)被配备作为被动冷却部件(11)，热流动通过所述被动冷却部件(11)发生。

10.根据权利要求9所述的检测器设备(1)，其中所述冷却部件(11)和/或所述另一冷却部件(13)至少部分地由电绝缘和导热材料制成，特别地由氮化硼、氮化铝、氧化铝、金刚石、合成金刚石、或者所述材料的组合制成。

11.根据权利要求9所述的检测器设备(1)，其中

a.所述冷却部件(11)和/或所述另一冷却部件(13)是电绝缘体和导热体；和/或

b.所述冷却部件(11)和/或所述另一冷却部件(13)至少部分地由复合材料制成；和/或

c.所述冷却部件(11)和/或所述另一冷却部件(13)包括芯，所述芯由导热材料制成，特别地由铝制成，所述芯至少部分地被电绝缘体、特别是电绝缘体薄膜、例如塑料薄膜、包围；和/或

d.所述冷却部件(11)和/或所述另一冷却部件(13)包括芯，所述芯由导热材料制成，特别地由铝制成，所述芯至少部分地被在热传导方向比所述芯薄的电绝缘体包围。

12.根据权利要求1至11中的任一项所述的检测器设备(1)，其中所述冷却部件(11)和/或所述另一冷却部件(13)具有大于1W/mK、特别是大于10W/mK、特别是大于100W/mK、特别是大于500W/mK的导热率。

13.根据权利要求1至12中的任一项所述的检测器设备(1)，其中所述冷却部件(11)和/或所述另一冷却部件(13)具有小于10^-7S/m、特别是小于10^-8S/m的导电率。

14.根据权利要求1至13中的任一项所述的检测器设备(1)，其中为增加在外表面上的泄漏电流耐受性，所述冷却部件(11)和/或所述另一冷却部件(13)包括通过曲径和/或通过筋和/或通过至少一个凹槽和/或通过至少一个凸起被延长的泄漏路径。