[发明专利]一种多晶硅太阳能电池的磷扩散方法

摘要

本发明公开了一种多晶硅太阳能电池的磷扩散方法，包括如下步骤：(1)将待处理的多晶硅片的正面整面生长含磷掺杂剂；(2)将上述多晶硅片放入扩散炉中，以1~10℃/min的升温速率升温至880~930℃；(3)保持上述温度，通入携磷源氮气、干氧和大氮进行扩散；(4)以1~10℃/min的降温速率降温至800~850℃；(5)降温，完成扩散过程。本发明采用正面整面生长含磷掺杂剂的方法，实现了吸杂、去除了多晶硅片的红边的目的；试验证明，相比现有的磷扩散方法，采用本发明的扩散方法制得的电池片的光电转换效率提升了0.2%，取得了意想不到的技术效果。

主权项

一种多晶硅太阳能电池的磷扩散方法，其特征在于，包括如下步骤：(1) 将待处理的多晶硅片的正面整面生长含磷掺杂剂；(2) 将上述多晶硅片放入扩散炉中，以1~10℃/min的升温速率升温至880~930℃，升温的同时通入携磷源氮气、干氧和大氮，所述携磷源氮气的流量为0~2 L/min，干氧的流量为0.5~2 L/min，大氮的流量为10~30 L/min；(3) 保持步骤(2)中的温度，通入携磷源氮气、干氧和大氮进行扩散，扩散时间为20~50 min；所述携磷源氮气的流量为0~2 L/min，干氧的流量为0.5~2 L/min，大氮的流量为10~30 L/min；(4) 以1~10℃/min的降温速率降温至800~850℃，降温的同时通入氧气和氮气；其中氧气的流量为1~10 L/min，氮气的流量为10~30 L/min；(5) 降温，出舟，完成扩散过程。