[发明专利]一种非球面变焦距光刻物镜系统

摘要

一种非球面变焦距光刻物镜系统，属于光学技术领域，本发明为了解决现有光刻物镜无法实现同一光刻物镜曝光出不同比例大小的掩模板曝光图形的问题，本发明系统从物面到像面依次为：物面、第一透镜组、第二透镜组、第三透镜组、第四透镜组、第五透镜组和像面；物面为掩模板所在平面；第一透镜组用于固定物面与变焦距系统第一片透镜的距离；第二透镜组起到改变光刻物镜焦距及像面尺寸的作用；第三透镜组作用在于当变倍组移动过程中补偿像面的移动，使像面在整个变倍过程中保持位置固定；第四透镜组，具有负光焦度，第五透镜组，具有正光焦度，两者构成后固定组，用于保证光刻物镜靠近像面一侧的最后一片透镜与像面距离不变；像面为刻蚀基片所在平面。

主权项

一种非球面变焦距光刻物镜系统，其特征在于，从物面一侧到像面一侧依次为：物面（O）、第一透镜组（G1）、第二透镜组（G2）、第三透镜组（G3）、第四透镜组（G4）、第五透镜组（G5）和接收面（I）；物面（O）为掩模板或曝光图形点阵所在平面；第一透镜组（G1）为前固定组，具有正光焦度，用于固定物面（O）与变焦距系统第一片透镜的距离；第二透镜组（G2）为变倍组，具有负光焦度，起到改变光刻物镜焦距及像面尺寸的作用；第三透镜组（G3）为补偿组，具有正光焦度，作用在于当变倍组移动过程中补偿像面的移动，使像面在整个变倍过程中保持位置固定；第四透镜组（G4），具有负光焦度，第五透镜组（G5），具有正光焦度，两者构成后固定组，用于保证光刻物镜靠近像面一侧的最后一片透镜与像面距离不变；像面（I）为刻蚀基片所在平面；变焦距光刻物镜系统共包括22块透镜，从靠近物面一侧到靠近像面一侧依次排列；第一透镜组（G1）由第一透镜至第三透镜组成，第一透镜为双凸透镜、第二透镜为负弯月透镜和第三透镜为双凸透镜；第二透镜组（G2）由第四透镜和第五透镜组成，第四透镜为薄负透镜，第五透镜为负透镜，且第四透镜的后表面与第五透镜的前表面曲率半径相同，第四透镜和第五透镜可交合在一起或可无限接近；第三透镜组（G3）由第六透镜和第七透镜组成，第六透镜为双凸透镜，第七透镜为双凸透镜，同时，第六透镜和第七透镜的前表面为非球面；第四透镜组（G4）由第八透镜至第十二透镜组成，第八透镜为正弯月透镜、第九透镜为负弯月透镜、第十透镜至第十二透镜为薄负弯月透镜；且第八透镜的后表面与第九透镜的前表面曲率半径相同，第八透镜和第九透镜可交合在一起或可无限接近；第五透镜组（G5）由第十三透镜至第二十二透镜组成，第十三透镜为负透镜，后表面为非球面，第十四透镜至第十五透镜为正透镜，第十七透镜为正弯 月透镜，第十八透镜为厚弯月镜，第十九透镜为负透镜，第二十透镜为薄正透镜，第二十一透镜和第二十二透镜为厚正透镜。