[发明专利]磁头元件检查方法及其装置

摘要

本发明提供一种磁头元件检查方法及其装置，能够不受外部环境影响地测定形成在磁头的卸料器上的各个磁头元件所形成的磁场的二维分布。在对形成了多个磁头的卸料器的各磁头的写入磁道的有效磁道宽度进行检查的磁头元件检查装置中，构成为将托盘部、载物台部、样品交接部、磁场测量部和有效磁道宽度测量部搭载在对来自外部的振动进行隔断的除振台部上，并用隔音部遮蔽托盘部、载物台部、样品交接部、磁场测量部、有效磁道宽度测量部和除振台部，来隔断外部的噪音。

主权项

一种磁头元件检查装置，对形成了多个磁头的卸料器的各磁头的写入磁道的有效磁道宽度进行检查，其特征在于，包括：托盘部，其将检查前的卸料器和检查后的卸料器分离容纳；载物台部，其能够在检查位置与样品交接位置之间移动；样品交接部，其从上述托盘部取出检查前的卸料器，交接到在上述样品交接位置等待的上述载物台部；磁场测量部，其测量在上述样品交接位置取得了上述检查前的卸料器的上述载物台部移动到上述检查位置的状态下通过向形成在上述卸料器上的磁头施加交流电流而产生的磁场；有效磁道宽度测量部，其根据由该磁场测量部测量所得的数据，判断形成在上述磁头上的写入磁道的有效磁道宽度的优劣；除振台部，其搭载了上述托盘部、上述载物台部、上述样品交接部、上述磁场测量部和上述有效磁道宽度测量部，隔断来自外部的振动；以及隔音部，其遮蔽上述托盘部、上述载物台部、上述样品交接部、上述磁场测量部、上述有效磁道宽度测量部和上述除振台部来隔断外部的噪音。