[发明专利]用于坩埚加热装置的供电装置和使其运行的方法在审
| 申请号： | 201210272810.3 | 申请日： | 2012-08-01 |
| 公开（公告）号： | CN102912423A | 公开（公告）日： | 2013-02-06 |
| 发明（设计）人： | 乌韦·鲍姆巴赫;迈克·鲁道夫 | 申请（专利权）人： | 西门子公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;H02M7/02 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 吴孟秋;李慧 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于坩埚加热装置（28）的供电装置（10，54），包括至少一个加热电流回路（26，30）和用于控制供电模块（12，14，16，18，20）的过程控制装置（36），其中加热电流回路（26，30）相应地包括至少两个供电模块（12，14，16，18，20），其中在这个或者每个加热电流回路（26，30）中，至少两个供电模块（12，14，16，18，20）的输出端（24，29）并联，本发明还涉及一种使其运行的方法。选择地可以设置加热控制装置（32）来代替过程控制装置（36），用于控制供电模块（12，14，16，18，20）。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 坩埚 加热 装置 供电 运行 方法 | ||
【主权项】：
一种用于坩埚加热装置（28）的供电装置（10），包括至少一个加热电流回路（26，30）和用于控制供电模块（12，14，16，18，20）的过程控制装置（36），所述加热电流回路相应地包括至少两个供电模块（12，14，16，18，20），其中在所述这个或者每个加热电流回路（26，30）中，所述至少两个供电模块（12，14，16，18，20）的输出端（24，29）并联。
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