[发明专利]用于坩埚加热装置的供电装置和使其运行的方法

权利要求书

1.一种用于坩埚加热装置（28）的供电装置（10），包括至少一个加热电流回路（26，30）和用于控制供电模块（12，14，16，18，20）的过程控制装置（36），所述加热电流回路相应地包括至少两个供电模块（12，14，16，18，20），其中在所述这个或者每个加热电流回路（26，30）中，所述至少两个供电模块（12，14，16，18，20）的输出端（24，29）并联。

2.根据权利要求1所述的供电装置（10），具有连接在所述过程控制装置（36）和所述供电模块（12，14，16，18，20）之间的加热控制装置（32），用于控制和监测所述供电模块（12，14，16，18，20）。

3.根据权利要求1或者2所述的供电装置（10），其中每个供电模块（12，14，16，18，20）在输入侧三相连接。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的供电装置（10），其中每个供电模块（12，14，16，18，20）包括三个相同的子模块，所述这些子模块通过内部的系统总线相互连接。

5.根据权利要求4所述的供电装置（10），其中每个子模块包括整流器单元。

6.根据权利要求4或者5所述的供电装置（10），其中每个子模块包括功率因数校正级。

7.根据权利要求6所述的供电装置（10），其中在所述功率因数校正级之后连接有时钟输出级。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的供电装置（10），其中每个供电模块（12，14，16，18，20）包括通信接口。

9.一种运行用于坩埚加热装置（28）的供电装置（10）的方法，所述供电装置包括至少一个加热电流回路（26，30）和用于控制供电模块（12，14，16，18，20）的过程控制装置（36），所述加热电流回路相应地包括有至少两个供电模块（12，14，16，18，20），其中在所述这个或者每个加热电流回路（26，30）中，所述至少两个供电模块（12，14，16，18，20）的输出端（24，29）并联，而且其中被分开用于每个加热电流回路（26，30）的所述供电模块（12，14，16，18，20）取决于工艺流程和/或在单个的供电模块（12，14，16，18，20）中出现故障时激活或者去除激活。

10.根据权利要求9所述的方法，其中在所述供电模块（12，14，16，18，20）中的任一个出现故障时，将信号（56）经过通信接口，从损坏的所述供电模块（12，14，16，18，20）传输给连接在所述过程控制装置（36）和所述供电模块（12，14，16，18，20）之间的加热控制装置（32），并且所述加热控制装置（32）使损坏的所述供电模块（12，14，16，18，20）去除激活。

11.根据权利要求9所述的方法，其中在所述供电模块（12，14，16，18，20）中的任一个出现故障时，将信号（56）经过通信接口，从损坏的所述供电模块（12，14，16，18，20）传输给所述过程控制装置（36），并且所述过程控制装置（36）使损坏的所述供电模块（12，14，16，18，20）去除激活。

12.根据权利要求10或者11所述的方法，其中如果在附属的所述加热电流回路（26，30）中所需要的功率小于或者等于激活的供电模块（12，14，16，18，20）的最大功率，则将去除激活的供电模块（12，14，16，18，20）的功率附加地按比例分配给所述那个或那些在附属的所述加热电流回路（26，30）中激活的供电模块（12，14，16，18，20）。

13.根据权利要求9至12中任一项所述的方法，其中使并不需要的供电模块（12，14，16，18，20）去除激活，而且其中在并联的供电模块（12，14，16，18，20）停止运行或出现故障时，使所述不需要的供电模块（12，14，16，18，20）自动地激活。

14.根据权利要求13所述的方法，其中所述这个或这些与去除激活的供电模（12，14，16，18，20）并联的供电模块（12，14，16，18，20）至少按比例承担所述去除激活的供电模块（12，14，16，18，20）的功率。