[发明专利]半透明固体材料光学常数的测量方法

摘要

半透明固体材料光学常数的测量方法，它涉及一种半透明材料光学常数的测量方法。该工具为解决目前双厚度透射法不能满足利用两块相同厚度样品实现其光学常数的测量的问题。步骤一、测量透射光谱；步骤二、求解光学常数：假定半透明固体材料光学常数的折射指数n0、吸收指数k0，最大迭代次数N＝10000，迭代精度e＝10-7；选取测量波长λi下两种透射光谱测量值T单和T叠带入反射率计算函数；将计算出的ρi和单块样品透射光谱测量值T单i带入吸收指数计算函数；将公计算的ρi和计算的ki带入折射指数计算函数；步骤四、评价计算结果：评价计算结果：将计算出的ni和ki带入评价函数，表达式为步骤五、分析计算结果。本发明用于半透明材料光学常数。

主权项

1.一种半透明固体材料光学常数的测量方法，其特征在于所述方法包括如下步骤：步骤一、测量透射光谱：利用傅里叶光谱仪测量单块样品的法向透射光谱测量值T_单，然后再利用傅里叶光谱仪测量两块相同厚度L的样品叠加后的法向透射光谱测量值T_叠；步骤二、求解光学常数：步骤二一、假定半透明固体材料光学常数的折射指数n₀、吸收指数k₀，最大迭代次数N＝10000，迭代精度e＝10^-7；步骤二二、选取测量波长λ_i下两种透射光谱测量值T_单和T_叠带入反射率计算函数，j＝j+1，且假定测量波长λ_i下半透明固体材料光学常数的折射指数n_i＝n₀、吸收指数k_i＝k₀，表达式为：其中，ρ_i为固体材料在波长λ_i的计算反射率，L为单块样品的厚度，j为迭代次数；步骤二三、将公式1-1计算出的ρ_i和单块样品透射光谱测量值T_单i带入吸收指数计算函数，表达式为其中，k_i为固体材料在波长λ_i的吸收指数；步骤二四、将公式1-1中计算的ρ_i和公式1-2中计算的k_i带入折射指数计算函数，表达式为ni=(1+ρi)+[(1+ρi)2-(1-ρi)2(1+ki2)]121-ρi]]>其中，n_i为固体材料在波长λ_i的折射指数；步骤二五、评价计算结果：将计算出的n_i和k_i带入评价函数，表达式为E=Max(|n-nini|,|k-kiki|)]]>其中，Max(·)为取最大值函数；步骤二六、分析计算结果：若评价函数计算出的E≥10^-7，则将公式1-2和公式1-3计算出的n_j和k_j替代n₀、k₀，返回步骤二二，直至步骤二五中计算出的E＜10^-7，或者j＞N，满足要求。