[发明专利]一种带有减振机构的真空操作平台

摘要

本发明公开一种带有减振机构的真空操作平台，通过真空腔壳与密封法兰固定连接，密封法兰与减振法兰固定连接，而上波纹管固定连接于平台支撑板和减振法兰之间，下波纹管固定连接于密封法兰与平台支撑板之间。当振动产生时，真空腔壳将振动传递给密封法兰，密封法兰直接将振动传递给下波纹管，同时密封法兰的振动通过辅助支撑件传递至减振法兰后传递给上波纹管，减振法兰可以沿着辅助支撑件轴向调整以调整同时调整上波纹管和下波纹管的形变，目的是使得上波纹管传递到平台支撑板的振动力与下波纹管传递到平台支撑板的振动力方向相反，有效的减小平台支撑板的振动。

主权项

一种带有减振机构的真空操作平台，包括：平台支撑板（5），通过支柱（10）固定于地面上；测量平台（8），设置在所述平台支撑板（5）的上方，通过至少两个关于所述测量平台（8）中心对称的固定件（9）与所述平台支撑板（5）固定连接，且所述测量平台（8）与所述平台支撑板（5）之间具有一定间距；其特征在于：所述减振机构包括：至少两个关于所述平台支撑板（5）中心对称的辅助支撑件（2），穿过所述平台支撑板（5）上设置的穿孔，所述辅助支撑件（2）可沿所述穿孔的轴向自由滑动；密封法兰（1），与所述辅助支撑件（2）的下端固定连接，在所述密封法兰（1）和所述平台支撑板（5）之间固定设置下波纹管（3），且所述下波纹管（3）无接触地套于所述支柱（10）外侧；减振法兰（7），设置在所述辅助支撑件（2）上端处，并可沿所述辅助支撑件（2）轴向调整，在所述减振法兰（7）和所述平台支撑板（5）之间固定设置有上波纹管（6），所述上波纹管（6）与所述支柱（10）具有相同的中心轴线，可通过调整所述减振法兰（7）在所述辅助支撑件（2）上的位置调整所述上波纹管（6）和所述下波纹管（3）的形变，使得所述上波纹管（6）和所述下波纹管（3）产生的振动产生抵消；所述支柱（10）穿过所述密封法兰（1）中间的通孔；真空腔壳（11），套设于所述平台支撑板（5）外部，与所述密封法兰（1）密封连接。