[发明专利]一种带有减振机构的真空操作平台

权利要求书

1.一种带有减振机构的真空操作平台，包括：

平台支撑板（5），通过支柱（10）固定于地面上；

测量平台（8），设置在所述平台支撑板（5）的上方，通过至少两个关于所述测量平台（8）中心对称的固定件（9）与所述平台支撑板（5）固定连接，且所述测量平台（8）与所述平台支撑板（5）之间具有一定间距；

其特征在于：

所述减振机构包括：

至少两个关于所述平台支撑板（5）中心对称的辅助支撑件（2），穿过所述平台支撑板（5）上设置的穿孔，所述辅助支撑件（2）可沿所述穿孔的轴向自由滑动；

密封法兰（1），与所述辅助支撑件（2）的下端固定连接，在所述密封法兰（1）和所述平台支撑板（5）之间固定设置下波纹管（3），且所述下波纹管（3）无接触地套于所述支柱（10）外侧；

减振法兰（7），设置在所述辅助支撑件（2）上端处，并可沿所述辅助支撑件（2）轴向调整，在所述减振法兰（7）和所述平台支撑板（5）之间固定设置有上波纹管（6），所述上波纹管（6）与所述支柱（10）具有相同的中心轴线，可通过调整所述减振法兰（7）在所述辅助支撑件（2）上的位置调整所述上波纹管（6）和所述下波纹管（3）的形变，使得所述上波纹管（6）和所述下波纹管（3）产生的振动产生抵消；

所述支柱（10）穿过所述密封法兰（1）中间的通孔；

真空腔壳（11），套设于所述平台支撑板（5）外部，与所述密封法兰（1）密封连接。

2.根据权利要求1所述的带有减振机构的真空操作平台，其特征在于：

所述辅助支撑件（2）上端为成型有外螺纹的螺纹端，所述螺纹端穿过所述减振法兰（7）上的法兰孔，通过位于所述减振法兰（7）上部和下部的两个螺母固定所述减振法兰，调整两个所述螺母旋进所述螺纹端的距离使所述减振法兰（7）的位置沿所述辅助支撑件（2）轴向调整。

3.根据权利要求1或2所述的带有减振机构的真空操作平台，其特征在于：

所述下波纹管（3）与所述上波纹管（6）具有完全相同的结构。

4.根据权利要求1-3任一所述的带有减振机构的真空操作平台，其特征在于：

所述上波纹管（6）与所述平台支撑板（5）和所述减振法兰（7）焊接连接。

5.根据权利要求4所述的带有减振机构的真空操作平台，其特征在于：

所述下波纹管（3）与所述平台支撑板（5）和所述密封法兰（1）焊接连接。

6.根据权利要求1-5任一所述的带有减振机构的真空操作平台，其特征在于：

所述固定件（9）为配合使用的螺杆与螺套，所述螺杆一端固定于所述平台支撑板（5）上，另一端穿过所述测量平台（8）上设置的螺孔后由所述螺套拧紧固定。

7.根据权利要求6所述的带有减振机构的真空操作平台，其特征在于：

所述螺杆焊接于所述平台支撑板（5）上。

8.根据权利要求1-7任一所述的带有减振机构的真空操作平台，其特征在于：

所述辅助支撑件（2）焊接在所述密封法兰（1）上。

9.根据权利要求1-8任一所述的带有减振机构的真空操作平台，其特征在于：

所述真空腔壳（11）与所述密封法兰（1）焊接在一起。

10.根据权利要求1-8任一所述的带有减振机构的真空操作平台，其特征在于：

所述真空腔壳（11）与所述密封法兰（1）通过螺栓固定在一起。