[发明专利]一种太阳能电池片的场强扩散方法有效
| 申请号： | 201210254322.X | 申请日： | 2012-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN102738312A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 陈必雄 | 申请（专利权）人： | 恒昇新能源光伏（苏州）科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;C30B31/08 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 孙仿卫;赵艳 |
| 地址： | 215234 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种太阳能电池片的扩散方法，其特征在于，包括以下步骤：将装载于可放电的石墨舟上的太阳能电池片放入高温扩散炉中，所述高温扩散炉中设有用于高频放电的电极，所述石墨舟与所述电极相连；将所述高温扩散炉中温度升温至850℃；向高温扩散炉中通入磷烷、氧气和氮气，其中磷烷的通入流量为0.5～1L/min，氧气的通入流量为0.5～1L/min，氮气的通入流量为5～10L/min，并将所述高温扩散炉内压力自动控制在170Pa；通过所述电极对所述石墨舟施加高频电源，使所述石墨舟对太阳能电池片放电，所述高频电源的放电功率为3000W～5000W，放电时间120s，放电结束时扩散完成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 场强 扩散 方法 | ||
【主权项】：
一种太阳能电池片的扩散方法，其特征在于，包括以下步骤：将装载于可放电的石墨舟上的太阳能电池片放入高温扩散炉中，所述高温扩散炉中设有用于高频放电的电极，所述石墨舟与所述电极相连；将所述高温扩散炉中温度升温至850℃；向高温扩散炉中通入磷烷、氧气和氮气，其中磷烷的通入流量为0.5～1L/min，氧气的通入流量为0.5～1L/min，氮气的通入流量为5～10L/min，并将所述高温扩散炉内压力自动控制控制在170Pa；通过所述电极对所述石墨舟施加高频电源，使所述石墨舟对两极之间放电，所述高频电源的放电功率为3000W～5000W，放电时间120s，放电结束时扩散完成。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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