[发明专利]表面毛刺微差测量装置

摘要

设计一项表面毛刺微差测量装置，主要包括机身，X轴平移导轨，Y轴平移导轨，测量针，压杆，压力表，密封圈，气缸，活塞，法兰，气管，密封塞，激励电源，U形管，磁性液体，激励线圈，感应线圈，电压表。本装置采用螺线管式差动变压器的工作原理，其核心部分是可变互感，利用磁流体兼具磁性和流动性的特点实现表面毛刺微差的测量，通过其流动时线圈互感的变化实现微位移差的测量。基于磁性液体的高灵敏度和高线性度，同时基于气缸大小与U形管管径大小比例的灵活控制，该表面毛刺微差测量装置能够精确测量几个微米范围内的微小形状变化。

主权项

设计一项表面毛刺微差测量装置，其特征在于，主要包括机身(1)，X轴平移导轨(2)，Y轴平移导轨(3)，测量针(4)，压杆(5)，活塞(6)，密封圈(7)，法兰(8)，气缸(9)，压力表(10)，气管(11)，Z轴平移导轨(12)，微差测量装置(13)。其中微差测量装置(13)包括激励电源(14)，密封塞(15)，感应线圈(16)，激励线圈(17)，磁性液体(18)，U形管(19)，电压表(20)，电压输出口(21)。