[发明专利]用于TSV铜互连材料力学性能测试的原位压缩试样有效
| 申请号： | 201210247658.3 | 申请日： | 2012-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN102768148A | 公开（公告）日： | 2012-11-07 |
| 发明（设计）人： | 汪红;顾挺;程萍;李君翊;王慧颖;丁桂甫 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | G01N3/02 | 分类号： | G01N3/02 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 郭国中 |
| 地址： | 200240 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于TSV铜互连材料力学性能测试的原位压缩试样，所述试样包括试样部分和用于固定试样的固定端，所述的试样部分是在硅通孔中形成的圆形金属柱；所述的固定端部分为圆形或方形平板结构，所述试样部分在所述固定端的上端部分。本发明与国内外现有的微拉伸试样相比，试样受力方向与圆形金属柱的生长方向一致，且主体尺寸是微米级，实现了原位TSV铜柱的力学性能测试，能有效地解决薄膜层力学性能测试数据不能真实反应TSV孔内铜互连材料力学性能的问题，提高了3D封装设计与仿真模拟中TSV铜互连材料力学特性参数的真实性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 tsv 互连 材料 力学性能 测试 原位 压缩 试样 | ||
【主权项】：
一种用于TSV铜互连材料力学性能测试的原位压缩试样，其特征在于，所述原位压缩试样包括试样部分和用于固定试样的固定部分，所述的试样部分是在硅通孔中形成的圆形金属柱；所述的固定端部分为圆形或方形平板结构；所述试样的一端固定在所述固定端之上，用夹具将固定端固定，并对所述试样的另一端施加压力，试样受力方向与圆形金属柱的生长方向一致，实现试样的压缩测试。
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