[发明专利]一种三氯氢硅合成炉废硅粉回收方法及装置有效
| 申请号： | 201210245222.0 | 申请日： | 2012-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN102745691A | 公开（公告）日： | 2012-10-24 |
| 发明（设计）人： | 刘兴平;呼维军;涂江 | 申请（专利权）人： | 特变电工新疆硅业有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/02 | 分类号： | C01B33/02;C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京中恒高博知识产权代理有限公司 11249 | 代理人： | 刘洪京 |
| 地址： | 830011 新疆维吾尔自治*** | 国省代码： | 新疆;65 |
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| 摘要： | 一种三氯氢硅合成炉废硅粉回收方法，包括合成炉和硅粉收集罐，具体操作步骤包括，A、在合成炉正常停车后，对合成炉进行置换；B、在置换合格后，将合成炉底部硅粉泄放阀与硅粉收集罐通过金属软管进行相连，通过氮气进口管线向合成炉通入氮气；C、打开硅粉泄放阀，氮气连同硅粉被带入硅粉收集罐，氮气通过硅粉收集罐顶部布袋过滤器被放空，使硅粉被收集到硅粉收集罐内，实现了硅粉的全部回收使用。本发明的有益效果如下：本方法工艺简单，工艺条件易于实现，且操作方便；再生产中可以将合成炉内废旧硅粉全部回收再使用，同时回收时不会对人员身体产生粉尘危害。本发明同时公开了三氯氢硅合成炉废硅粉回收装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 三氯氢硅 合成 炉废硅粉 回收 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种三氯氢硅合成炉废硅粉回收方法，包括合成炉（10）和硅粉收集罐（40），具体操作步骤包括，A、在合成炉（10）正常停车后，对合成炉（10）进行置换；B、在置换合格后，将合成炉底部硅粉泄放阀（30）与硅粉收集罐（40）通过金属软管（3）进行相连，通过氮气进口管线（1）向合成炉（10）通入氮气；C、打开硅粉泄放阀（30），氮气连同硅粉被带入硅粉收集罐（40），氮气通过硅粉收集罐顶部布袋过滤器（50）被放空，使硅粉被收集到硅粉收集罐（40）内，实现了硅粉的全部回收使用。
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