[发明专利]新型化合物及其制造方法、产酸剂、抗蚀剂组合物以及抗蚀剂图案形成方法

摘要

本发明涉及含有在酸的作用下对碱显影液的溶解性发生改变的基材成分(A)和通过曝光来产生酸的产酸剂成分(B)的抗蚀剂组合物，其特征在于，所述产酸剂成分(B)含有由下述通式(b1-1)表示的化合物形成的产酸剂(B1)，式中，R^X是可以具有取代基(但氮原子除外)的烃基；Q²和Q³分别独立地为单键或2价的连接基团；Y¹是碳原子数为1～4的亚烷基或氟代亚烷基；Z⁺是有机阳离子(但下述通式(w-1)表示的离子除外)。

主权项

1.一种抗蚀剂组合物，其是含有在酸的作用下对碱显影液的溶解性发生改变的基材成分(A)和通过曝光来产生酸的产酸剂成分(B)的抗蚀剂组合物，其特征在于，所述产酸剂成分(B)含有由下述通式(b1-1-1)表示的化合物形成的产酸剂(B1)，式中，R^X是碳原子数1～20的直链或支链状的饱和烃基，构成该烃基的碳原子的一部分可以被氟原子、氯原子、碘原子、溴原子、氧原子或硫原子取代，构成该烃基的氢原子的一部分或全部可以被氟原子、氯原子、碘原子、溴原子、氧原子或硫原子取代；R¹为亚烷基；Y¹是碳原子数为1～4的亚烷基或氟代亚烷基；Z⁺是有机阳离子，但不为下述通式(w-1)表示的离子，式中，R³～R⁶分别独立地为氢原子或可以具有取代基的烃基，R³～R⁶中的至少1个为所述烃基，R³～R⁶中的至少2个可以分别键合成环。