[发明专利]基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器有效
| 申请号： | 201210243513.6 | 申请日： | 2012-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN102735564A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 杨晋玲;王帅鹏;王晶晶;杨富华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01N5/02 | 分类号： | G01N5/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器，该生化传感器包括谐振腔、悬臂梁和惠斯特桥式检测电路，其中在该悬臂梁的自由端刻蚀有微柱结构(3)和储液槽(4)，并刻蚀有用于流出生化溶液的漏液孔(5)；该悬臂梁的支撑端连接于该惠斯特桥式检测电路，该惠斯特桥式检测电路由四个U型结构的压阻条(1)、三个输入电极(8、9、10)和两个输出电极(7、11)构成，四个压阻条(1)通过信号传输线(2)连接于输入电极(8、9、10)和输出电极(7、11)。该生化传感器通过检测吸附待测物后导致的频率变化，感知微小生化分子，具有较高的灵敏度，可探测到微小质量的生化分子，能够广泛应用于医学、化工等工程领域。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 谐振 式微 悬臂梁 结构 灵敏 生化 传感器 | ||
【主权项】：
一种基于谐振式微悬臂梁结构的高灵敏生化传感器，其特征在于，该生化传感器包括谐振腔、悬臂梁和惠斯特桥式检测电路，其中在该悬臂梁的自由端刻蚀有微柱结构(3)和储液槽(4)，并刻蚀有用于流出生化溶液的漏液孔(5)；该悬臂梁的支撑端连接于该惠斯特桥式检测电路，该惠斯特桥式检测电路由四个U型结构的压阻条(1)、三个输入电极(8、9、10)和两个输出电极(7、11)构成，四个压阻条(1)通过信号传输线(2)连接于输入电极(8、9、10)和输出电极(7、11)。
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