[发明专利]基于双轴织构金属基带的新型复合隔离层及制备方法有效
| 申请号： | 201210242021.5 | 申请日： | 2012-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN102774074A | 公开（公告）日： | 2012-11-14 |
| 发明（设计）人： | 徐达;刘林飞;李贻杰 | 申请（专利权）人： | 上海超导科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B32B15/04 | 分类号： | B32B15/04;B32B9/04;C23C14/35;C23C14/08 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 郭国中 |
| 地址： | 200080 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种基于双轴织构金属基带的新型复合隔离层及制备方法，采用三层结构，上层为锆酸镧(La2Zr2O7)隔离层，中间层为钇稳定氧化锆(YSZ)隔离层，下层为氧化铈(CeO2)隔离层。本发明用锆酸镧（La2Zr2O7）代替传统CeO2/YSZ/CeO2和CeO2/YSZ/Y2O3三层复合隔离层结构中的CeO2帽子层，并采用射频磁控溅射镀膜技术制备高质量的La2Zr2O7隔离层。该方法具有高的稳定性，重复可靠性及高的沉积速率，其制备得到的La2Zr2O7隔离层致密均匀，与YSZ隔离层结合力强。本发明基于金属基带的La2Zr2O7/YSZ/CeO2复合隔离层具有单一的（00/）取向，高的面内和面外织构，表面光洁度好，适合于在其上外延生长高性能的稀土氧化物超导层。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 双轴织构 金属 基带 新型 复合 隔离 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种基于双轴织构金属基带的新型复合隔离层，其特征在于，该复合隔离层采用三层结构，上层为La2Zr2O7隔离层，中间层为YSZ隔离层，下层为CeO2隔离层。
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