[发明专利]板材镀膜设备

摘要

本发明涉及一种板材涂层加工设备，尤其是一种板材镀膜设备。包括壳体，壳体内部设有容置空间；第一收放卷，设于壳体内用于绕制待镀膜金属板材并通过旋转释放金属板材；第二收放卷，设于壳体内用于接收已镀膜金属板材并旋转回收于收放卷上；靶材，分别设于金属板材运行路径的两侧用于对金属板材进行磁控溅射镀膜；壳体上对应于靶材的位置设置有舱门。本发明形成一金属板材由第一收放卷到第二收放卷的运行路径，将靶材设于金属板材的运行路径的两侧进行磁控溅射镀膜，使得内部部件的结构紧凑，整机体积小巧，运行过程持续稳定可控，极大的提高了镀膜工艺的品质，加强了板材的吸热效果，提高了能量的转化效率。

主权项

一种板材镀膜设备，其特征在于，包括：壳体，壳体内部设有容置空间；第一收放卷，设于壳体内用于绕制待镀膜金属板材并通过旋转释放金属板材；第二收放卷，设于壳体内用于接收已镀膜金属板材并旋转回收于收放卷上：靶材，设于金属板材运行路径的两侧用于对金属板材进行磁控溅射镀膜；壳体上对应于靶材的位置设置有舱门。