[发明专利]板材镀膜设备

说明书

技术领域

本发明涉及一种板材涂层加工设备，尤其是一种板材镀膜设备。

背景技术

由于常规能源的大力开发利用，造成世界范围内的环境污染日趋严重。世界上很多国家已经认识到，太阳能作为可再生能源，在持久使用环境资源为人类造福方面将起到十分巨大的作用。有着丰富太阳能资源的中国，已于2006年1月1日起正式实施《可再生能源法》，同时，国家“十一五”规划纲要也已把可再生资源的发展作为一项重要任务，因此太阳能热器本身具有巨大的潜在的推广应用价值。近年来，平板式太阳能集热器由于其具有承压能力强，吸热面积大等特点，是太阳能与建筑一体化结合最佳的集热器类型。而平板式太阳能集热器的核心技术就在于板芯表面的吸收涂层，吸收涂层的质量，决定着整个集热器的性能。

现有的涂层镀制设备一般为多个真空室：装料闭锁和阀门室、工艺室和起料室。工艺室的端部直接在输送系统上。各种附件可以放置在工艺室中以实现各种磁控环境和固定磁控溅射源。这种设备的每一个工艺室都只能镀制一种膜层，因此在镀制多层太阳能吸热涂层的时候，就需要多个工艺室，各腔室之间需要若干真空封闭装置，工作线很长，难于控制，质量不稳定，导致设备成本高昂，体积庞大。而且这种镀制设备的生产效率和成品率也比较低。上述的这个技术问题，长期存在与板式太阳能行业中，至今没有得到有效的解决。

发明内容

本发明提供一种结构简单、成本低、镀膜工艺质量易于控制且稳定的太阳能集热板芯镀膜设备。

为了实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

它包括：

壳体，壳体内部设有容置空间；

第一收放卷，设于壳体内用于绕制待镀膜金属板材并通过旋转释放金属板材；

第二收放卷，设于壳体内用于接收已镀膜金属板材并旋转回收于收放卷上；

靶材,设于金属板材运行路径的两侧用于对金属板材进行磁控溅射镀膜；

壳体上对应于靶材的位置设置有舱门。

上述结构中，在金属板材的运行路径上设有用于调节金属板材的张紧度的浮动辊，手动或自动控制浮动辊的位置实现对板料的纠偏；所述的壳体上设有传感器，通过传感器检测浮动辊的升降对收放卷的转速进行微调。

上述结构中，第一收放卷2和第二收放卷3上各预装有一段金属板材，待镀膜板材两端分别和第一收放卷2和第二收放卷3上的预留板材连接，以实现对所有待镀膜板材的镀膜。上述结构中，所述的壳体内中部还设有用于减少壳体内无效空间的封闭舱,封闭舱两侧设有加热器。

上述结构中，所述的壳体为立式壳体，所述的第一收放卷和第二收放卷设于壳体内部上方，所述的浮动辊设于壳体内部下方，所述的封闭舱设于金属板材由第一收放卷经浮动辊到第二收放卷形成的U形路径范围中，所述的靶材设于与封闭舱相对的两侧壳体内壁上。上述结构中，所述的壳体为立式壳体，所述的第一收放卷和第二收放卷设于壳体内部下方，所述的第一收放卷和第二收放卷上方分别设置第一导向辊和第二导向辊，所述的浮动辊设于第一收放卷、第二收放卷、第一导向辊和第二导向辊之间的位置，所述的封闭舱设于金属板材由第一导向辊经浮动辊到第二导向辊形成的U形路径范围中，金属板材由第一收放卷经第一导向辊到浮动辊形成的U形路径范围中和金属板材由浮动辊经第一导向辊到第二收放卷形成的U形路径范围中分别设置一组靶材。

上述结构中，所述的壳体为卧式壳体，所述的第一收放卷和第二收放卷设于壳体内部一端，所述的浮动辊设于壳体内部另一端，所述的封闭舱设于金属板材由第一收放卷经浮动辊到第二收放卷形成的U形路径范围中，所述的靶材设于与封闭舱相对的两侧壳体内壁上。

上述结构中，所述的浮动辊设于一垂直或水平的浮动辊支架上，浮动辊可相对于浮动辊支架垂直或水平运动。

由于采用了上述结构，本发明的太阳能集热板芯镀膜设备在壳体内部形成一金属板材由第一收放卷到第二收放卷的释放和回收的路径，将靶材设于金属板材的运行路径的两侧进行磁控溅射镀膜，使得内部部件的结构紧凑，整机体积小巧，而且整个运行过程持续稳定可控，极大的提高了镀膜工艺的品质，加强了吸热板芯的吸热效果，提高了光能的转化效率。

附图说明

图1是本发明第一实施例的平面内部结构示意图；

图2是本发明第一实施例的立体内部结构示意图；

图3是本发明第二实施例的平面内部结构示意图；

图4是本发明第二实施例的立体内部结构示意图；

图5是本发明第三实施例的平面内部结构示意图；

图6是本发明第三实施例的立体内部结构示意图；