[发明专利]用于化学机械研磨制程的激光衬垫窗口在审
| 申请号： | 201210231295.4 | 申请日： | 2012-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN103522170A | 公开（公告）日： | 2014-01-22 |
| 发明（设计）人： | 李儒兴;李志国;秦海燕;张磊;龚大伟;张中连 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34 |
| 代理公司： | 上海信好专利代理事务所(普通合伙) 31249 | 代理人： | 张静洁;徐雯琼 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种用于化学机械研磨制程的激光衬垫窗口，该激光衬垫窗口为设置在研磨衬垫上的通孔阵列，该通孔阵列包含若干沿直线排列的通孔，通孔的两端的形状为弧形，这两端的方向与研磨衬垫的直径方向垂直。本发明可以解决传统聚合物类硬质窗口划伤晶圆和由于窗口被划伤而造成激光信号变弱等缺陷，同时避免激光窗口边缘磨损的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 化学 机械 研磨 激光 衬垫 窗口 | ||
【主权项】：
一种用于化学机械研磨制程的激光衬垫窗口，其特征在于，该激光衬垫窗口为设置在研磨衬垫上的通孔阵列，该通孔阵列包含若干沿直线排列的通孔（101）；所述的通孔（101）的两端的形状为弧形，这两端的方向与研磨衬垫的直径方向垂直。
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