[发明专利]一种结构紧凑型kHz准分子激光器全固态脉冲激励源

摘要

本发明公开了一种结构紧凑型kHz准分子激光器全固态脉冲激励源，包括直流电源、升压脉冲变压器、磁脉冲压缩开关电路，激励源温度控制系统、油箱，直流电源与滤波电容并联后经半导体开关IGBT连接在升压脉冲变压器初级线圈两端，升压脉冲变压器的次级线圈接入磁脉冲压缩开关电路，升压脉冲变压器及两级磁脉冲压缩开关集成在高压油箱内。本发明替代传统准分子激光器采用闸流管作为主开关的激励源，解决因闸流管的放电寿命有限、残余振荡、预热启动及其老化过程中的自导通等缺点而影响准分子激光器的整体工作性能的问题，满足准分子激光器高重复频率、长寿命、稳定运行需求。

主权项

一种结构紧凑型kHz准分子激光器全固态脉冲激励源，其特征在于：包括直流电源、滤波电容C0、升压脉冲变压器T、磁脉冲压缩开关电路、水冷散热器、油箱，所述的直流电源与滤波电容C0并联后经半导体开关IGBT、电感L0接入升压脉冲变压器T的初级两端，所述的升压脉冲变压器T的初级线圈一端连接电感L0，另一端连接滤波电容C0的一端,所述的升压脉冲变压器T的次级线圈接入磁脉冲压缩开关电路，所述的磁脉冲压缩开关电路包括三个相互并联的电容C1、C2、Cd，所述的电容C1、C2、Cd的低电位端共同接地，所述的电容C1与电容C2的高电位端间连接有磁脉冲压缩开关MS1，所述的电容C2与电容Cd的高电位端间连接有磁脉冲压缩开关MS2，所述的电容C1的两端连接在脉冲升压变压器T的次级线圈两端，滤波电容C0、电感L0、脉冲升压变压器T、电容C1组成脉冲升压谐振回路，所述的直流电源输出的直流电压经升压、谐振翻倍后形成的脉冲电压，由磁脉冲压缩开关电路压缩后获得高压快脉冲；所述的半导体开关IGBT安装于水冷散热器上，水冷散热器置于装有水冷机的水冷循环系统中，升压脉冲变压器T和两个磁脉冲压缩开关MS1、MS2置于充满变压器油的油箱中，水冷散热器与油箱之间连接有多层热交换器，水冷散热器连接热交换器的冷媒通道，油箱连接热交换器的热媒通道。