[发明专利]一种真空吸笔无效
| 申请号： | 201210213836.0 | 申请日： | 2012-06-27 |
| 公开（公告）号： | CN103515277A | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 鲁福建 | 申请（专利权）人： | 扬州鑫晶光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 扬州市锦江专利事务所 32106 | 代理人： | 陈君伟 |
| 地址： | 225600 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种真空吸笔，涉及太阳能电池片生产的技术领域，尤其涉及取放硅片的辅助工具，包括吸管和吸盘，吸管的一端管壁上设置气孔，所述吸管与吸盘之间通过软管连接，所述气孔设置在吸管连接软管的一端。本发明的吸盘与吸管之间通过软管进行软连接，当吸笔吸住硅片与石墨舟或石英舟接触时，软管部分会卸掉相当大一部分作用力，而硅片本身承受的作用力就会很小，能够降低碎片，提高产品合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 | ||
【主权项】：
一种真空吸笔，包括吸管和吸盘，吸管的一端管壁上设置气孔，其特征在于：所述吸管与吸盘之间通过软管连接，所述气孔设置在吸管连接软管的一端。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
