[发明专利]垂直式探针卡及应用其的检测模块

摘要

一种垂直式探针卡及应用其的检测模块，适于对具有多个对位标记以及多个测试垫的待测物进行电性检测。检测模块包括影像撷取装置、线路基板、探针座及光源装置。线路基板具有监测贯孔。探针座配置于线路基板上且具有对应监测贯孔的开口以及多个垂直式探针。其中垂直式探针相邻排列于开口的至少二相对侧，且垂直式探针适于与测试垫直接接触。光源装置配置于线路基板上，其中光源装置与影像撷取装置位于线路基板相对垂直式探针的一侧，而各光源装置分别提供一光束，且各光束分别穿过监测贯孔及开口以投影一对位图案于对位标记的其中之一内。

主权项

一种垂直式探针卡，适于与一影像撷取装置搭配以对具有多个对位标记以及多个测试垫的一待测物进行电性检测，所述垂直式探针卡包括：一线路基板，具有一监测贯孔；一探针座，配置于所述线路基板上，所述探针座具有一对应所述监测贯孔的开口以及多个垂直式探针，其中所述多个垂直式探针相邻排列于所述开口的至少二相对侧，且所述多个垂直式探针适于与所述多个测试垫直接接触；以及多个光源装置，配置于所述线路基板上，其中所述多个光源装置与所述影像撷取装置位于所述线路基板相对所述多个垂直式探针的一侧，而所述各个光源装置分别提供一光束，且所述各个光束分别穿过所述监测贯孔及所述开口以投影一对位图案于所述多个对位标记的其中之一内。