[发明专利]弯曲振动片及其制造方法以及电子设备

摘要

本发明涉及一种弯曲振动片及其制造方法以及电子设备。在弯曲振动片的振动臂的侧面上高精度地对在厚度方向上分离的电极进行图案形成。弯曲振动片(21)的、从基部(22)起延伸的矩形截面的振动臂(24)具有第一、第二阶梯部(27、28)，该第一、第二阶梯部(27、28)由在下表面(24b)及上表面(24a)和左侧面(24c)及右侧面(24d)之间，分别与左侧面及右侧面相交的阶梯面(27a、28a)、和与上表面及下表面相交的阶梯侧面(27b、28b)构成，左右侧面上的第一、第四检测电极(29a、29d)和阶梯侧面上的第二、第三检测电极(29b、29c)分别通过阶梯面(27a、28a)中未形成电极膜的部分而在振动臂的厚度方向上分离。第一至第四检测电极利用现有的光刻技术，并使用通常的曝光机而从上下表面曝光从而被高精度地进行图案形成。

主权项

一种弯曲振动片，其特征在于，具备：基部；截面多边形的振动臂，其从所述基部起延伸，并具有上表面、下表面及左右侧面；电极，其分别被设置在所述振动臂的所述左右侧面上，所述振动臂的至少一个所述侧面上的所述电极，由在该振动臂的厚度方向上分离的第一电极和第二电极构成，各个所述电极被设置为，在所述振动臂沿着垂直于其上下表面的方向而进行弯曲振动时，所述第一电极和与其相对应的所述振动臂的另一个所述侧面上的所述电极之间所产生的电场的方向，与所述第二电极和与其相对应的所述振动臂的另一个所述侧面上的所述电极之间所产生的电场的方向互为相反方向，所述振动臂具有，形成在所述一个侧面和所述上表面或下表面之间的阶梯部，所述阶梯部由与所述一个侧面相交的阶梯面、和与所述上表面或下表面相交的阶梯侧面构成，所述第一电极和第二电极通过所述阶梯面中未形成电极膜的部分而分离，并形成在所述一个侧面和所述阶梯侧面上。