[发明专利]水汽检测器件及水汽检测方法有效
| 申请号： | 201210206555.2 | 申请日： | 2012-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN103513163A | 公开（公告）日： | 2014-01-15 |
| 发明（设计）人： | 宋兴华 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/12 | 分类号： | G01R31/12;G01R27/26;G01R31/02 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种水汽检测器件及水汽检测方法，待测结构被湿池结构的水汽影响，而与待测结构相同的标准结构被隔离，使得标准结构不受水汽影响，之后将标准结构和待测结构的电性参数相比较，即可具体的得出水汽对半导体器件可靠性的影响，具有很高的灵敏度和可信性，并有利于优化现有生产工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 水汽 检测 器件 方法 | ||
【主权项】：
一种水汽检测器件，用于检测水汽对半导体器件可靠性的影响，其特征在于，包括：一湿池结构，用以提供水汽；一待测结构，用以接收所述湿池结构提供的水汽；及一标准结构，该标准结构与所述待测结构相同，且与所述湿池结构相隔离。
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