[发明专利]硅锭切片质量监控系统及监测方法

摘要

本发明公开了一种硅锭切片质量监控系统及监测方法，包括切片装置、用于检测晶棒切割处温度的检测装置以及带有中央处理器的控制装置，切片装置包括切片机的内壁板，内壁板一侧具有待切割的晶棒、粘结晶棒的晶托、位于晶棒下方的一对导轮以及绕在导轮之间的用于磨削晶棒的钢线线网，检测装置包括设在内壁板上的红外线传感器，红外线传感器通过传输线连接有温度感应电路，红外线传感器探头中心线的延伸方向对准钢线线网磨削晶棒端面时的中间位置处，温度感应电路将收集的数据处理后传送至中央处理器。本发明可有效控制切片工艺过程，减少切片过程中随机产生的裂纹片、半截片、胶面崩边缺角片等缺陷，实现更加稳定的切片质量和更高的切片效益。

主权项

一种硅锭切片质量监控系统，包括切片装置、用于检测晶棒切割处温度的检测装置以及带有中央处理器（10）的控制装置，切片装置包括切片机的内壁板（1），内壁板（1）一侧具有待切割的晶棒（2）、粘结晶棒（2）的晶托（3）、位于晶棒（2）下方的一对导轮（4）以及绕在导轮（4）之间的用于磨削晶棒（2）的钢线线网（5），其特征是：所述的检测装置包括设在内壁板（1）上的红外线传感器（6），红外线传感器（6）通过传输线（7）连接有温度感应电路（8），红外线传感器（6）探头中心线的延伸方向对准钢线线网（5）磨削晶棒（2）端面时的中间位置处，温度感应电路（8）将收集的数据处理后传送至中央处理器。