[发明专利]一种连续生长准单晶晶体的装置有效
| 申请号： | 201210205227.0 | 申请日： | 2012-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN102732950A | 公开（公告）日： | 2012-10-17 |
| 发明（设计）人： | 张志强;黄振飞;刘振准 | 申请（专利权）人： | 常州天合光能有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/30 | 分类号： | C30B15/30;C30B15/00 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 王凌霄 |
| 地址： | 213031 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种连续生长准单晶晶体的装置，具有用于放置硅溶液的坩埚，坩埚上方设置有链式长晶循环装置，链式长晶循环装置包括动力支撑盘和循环链条，循环链条具有籽晶挂载区、生长区，籽晶挂载区内的链条和生长区内的链条均与坩埚内的硅溶液液面分离，籽晶挂载区内的链条和生长区内的链条均与坩埚内的硅溶液液面形成一定角度，籽晶挂载区内的链条与坩埚内的硅溶液液面形成的角度大于生长区内的链条与坩埚内的硅溶液液面形成的角度，生长区内的链条上方设置有冷却器。本发明中晶体和坩埚脱离接触，避免传统石英陶瓷坩埚中金属杂质向晶体内杂质扩散引起的少子寿命降低，提高晶体质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 连续 生长 准单晶 晶体 装置 | ||
【主权项】：
一种连续生长准单晶晶体的装置，具有用于放置硅溶液的坩埚，坩埚外壁设置有加热器，其特征在于：所述的坩埚上方设置有链式长晶循环装置，所述的链式长晶循环装置包括动力支撑盘和通过动力支撑盘连接形成的循环链条，所述的循环链条具有可挂载籽晶的籽晶挂载区、生长区，所述的籽晶挂载区内的链条和生长区内的链条均与坩埚内的硅溶液液面分离，所述的籽晶挂载区内的链条和生长区内的链条均与坩埚内的硅溶液液面形成一定角度，所述的籽晶挂载区内的链条与坩埚内的硅溶液液面形成的角度大于生长区内的链条与坩埚内的硅溶液液面形成的角度，所述的生长区内的链条上方设置有冷却器。
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